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场发射扫描电子显微镜

发布者:耐火材料与冶金省部共建国家重点实验室发布时间:2018-08-30浏览次数:40

中文名称

场发射扫描电子显微镜(X射线能谱仪(EDS,电子背散射衍射仪(EBSD

所在单位

省部共建国家重点实验室

英文名称

Field emission   scanning electron microscope ( FESEM)

所在实验室

微观中心

仪器型号

Nova   NanoSEM400

所在位置

教六楼

生产公司

美国FEI公司

仪器负责人

范丽霞

仪器功能

金属、非金属、生物等各种样品的纳米尺度的形貌分析;微区成分分析;微区取向、微观织构分析,晶体结构分析,物相分析等。

电 话

027-68862042

性能指标

电镜分辨率: 高真空模式:1.0nm (15KV) ;低真空模式:1。5nm (10KV); 电镜加速电压:200V30kV;样品台移动范围:X=Y=100mmZ=60mm; 样品台:五轴驱动,精度100nm

能谱仪:Penta FET X-3 Si(Li)探测器;能量分辨率:129eV(MnKα)
元素检测范围:Be4U92,

电子背散射衍射仪:EBSD花样分辨率达1344*1024像素 ,

空间分辨率(Al,20KV):0.5μ

传 真

添置时间

200710

运行状态

正常

  

  

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